Linearantrieb punktet mit hoher Leistung bei kompaktem Gehäuse
Pößneck, Dezember 2007 – Was müssen Antriebe mitbringen, die in Produktionsanlagen für die Halbleiterindustrie eingesetzt werden? „In unserem Fall: ausreichend Kraft bei kompakten Außenmaßen, Sauberkeit und die Option, auch einzelne Antriebe einfach integrieren zu können“, lautet die Antwort von Dietmar Schneider, Manager Design Engineering bei der Singulus Nano Deposition Technologies GmbH. Das Unternehmen mit Sitz in Kahl bei Aschaffenburg fertigt für Kunden aus der Halbleiterindustrie Anlagen zur Dünnfilmbeschichtung. Bei der Entwicklung der Vakuum-Beschichtungsanlage Timaris waren Schneider und sein Team auf der Suche nach einer passenden Antriebslösung für den Deckel der Vakuumkammer. Die Entscheidung fiel auf den elektrischen Schubspindelantrieb Compakt von elero Linearantriebstechnik.
Zuverlässiges Öffnen und Schließen
Die Timaris-Beschichtungsanlage ist modular aufgebaut und kann je nach gewählten Komponenten beispielsweise MRAM-Wafer oder Schreib-Lese-Köpfe für Festplatten produzieren. Der elektrische Linearantrieb Compakt kommt dabei in den Modulen zum Einsatz, in denen die Endprodukte unter Ultrahochvakuumbedingungen von 10-9 Torr mit Hilfe eines Plasma-Ätzverfahrens gereinigt werden. Dort schwenkt der Antrieb den ca. 120 Kilogramm schweren Kammerdeckel samt Plasmaquelle nach oben – etwa für Montage- oder Wartungsarbeiten in der Vakuumkammer.
Stark, kompakt und sauber
Grund für die Auswahl gerade dieser Antriebslösung war die hohe Kraft von 12.000 Newton, die der Compakt bei Gehäusemaßen von nur 376 x 140 x 70 Millimetern aufbringt. Der Hub von 300 Millimetern reicht aus, um den Kammerdeckel zuverlässig zu öffnen, während der Arbeiten in der oberen Position zu halten und sicher wieder zu schließen. Da pro Anlage in der Regel nur zwei Antriebe benötigt werden, war für die Konstrukteure zudem die elektrische Funktionsweise entscheidend. Dadurch wurde kein aufwändiges Hydraulik- oder Pneumatiksystem benötigt. Dritter Pluspunkt: Der Compakt ist schmiermittelfrei und dadurch optimal für die Produktion der Anlagen unter Reinraumbedingungen geeignet. „Der Einsatz der elero-Linearantriebe hat sich bewährt“, fasst Schneider zusammen, „die Produkteigenschaften passen zu unseren Anforderungen. Darüber hinaus zahlt sich auch die Langlebigkeit und Wartungsfreiheit der Antriebe für uns aus.“
Der Linearantrieb Compakt schwenkt über einen Hebelarm den ca. 120 Kilogramm schweren Deckel der Vakuumkammer mühelos nach oben – hier zu sehen während der Montage. Quelle: Singulus Nano Deposition Technologies / elero Linearantriebstechnik
Kräftig, kompakt und sauber: Der Linearantrieb Compakt bietet viele Vorteile im Maschinen- und Anlagenbau. Quelle: elero Linearantriebstechnik
elero Linearantriebstechnik im thüringischen Pößneck ist ein Zweigunternehmen der elero GmbH und somit Teil der Günther-Gruppe. Der 1995 gegründete Betrieb entwickelt, produziert und vertreibt elektrische, lineare Schubspindelantriebe. Dabei profitiert elero Linearantriebstechnik von der über 40-jährigen Erfahrung der elero GmbH bei Antriebs- und Steuerungssystemen. 100 Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter treiben in Pößneck den Bereich Linearantriebstechnik weiter voran und gewährleisten so ein anhaltendes Wachstum.
